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真空蒸發鍍工藝程序和操作要點

關鍵詞 真空蒸發鍍|2011-06-29 15:49:28|制造技術|來源 中國磨料磨具網
摘要 基體(磨料),蒸發器(坩堝),真空室(鐘罩和鋁箔或鋁板制成的內鐘罩)的鍍前清潔處理與安裝準備→抽真空→真空凈化處理(磨料和真空容器內表面,用真空加熱法或電子束,離子束轟擊法凈化處理...
  基體(磨料),蒸發器(坩堝),真空室(鐘罩和鋁箔或鋁板制成的內鐘罩)的鍍前清潔處理與安裝準備→抽真空→真空凈化處理(磨料和真空容器內表面,用真空加熱法或電子束,離子束轟擊法凈化處理,方法與處理聚晶用的金剛石相同)→蒸發材料的預熔(除去吸附的氣體和低熔點雜質)→蒸鍍→停機取料。
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真空蒸發鍍是將真空容器內放置的蒸發物質加熱蒸發,并使蒸發的粒子凝固在被鍍基體表面上而形成薄膜的方法。真空蒸發鍍也稱為真空蒸鍍、真空熱蒸發鍍、真空蒸發鍍膜等,它是最早出現的真空鍍膜方法。

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